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portada Atomic Layer Deposition for Semiconductors (en Inglés)
Formato
Libro Físico
Editorial
Autor
Idioma
Inglés
N° páginas
263
Encuadernación
Tapa Dura
Dimensiones
23.8 x 16.3 x 2.0 cm
Peso
0.52 kg.
ISBN13
9781461480532
Categorías

Atomic Layer Deposition for Semiconductors (en Inglés)

Hwang, Cheol Seong (Autor) · Springer · Tapa Dura

Atomic Layer Deposition for Semiconductors (en Inglés) - Hwang, Cheol Seong

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Reseña del libro "Atomic Layer Deposition for Semiconductors (en Inglés)"

Offering thorough coverage of atomic layer deposition (ALD), this book moves from basic chemistry of ALD and modeling of processes to examine ALD in memory, logic devices and machines. Reviews history, operating principles and ALD processes for each device.

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