Name: Mechanical Resonator for Hermeticity Evaluation of rf Mems Wafer-Level Packages (en Inglés)
SKU: 62854835
Price: 2064.00 UYU
Availability: InStock
Author: Dr Sebastian Fischer
ISBN: 9783638700955

portada Mechanical Resonator for Hermeticity Evaluation of rf Mems Wafer-Level Packages (en Inglés)

Mechanical Resonator for Hermeticity Evaluation of rf Mems Wafer-Level Packages (en Inglés)

Formato

Libro Físico

Editorial

Grin Verlag

Autor

Dr Sebastian Fischer

Idioma

Inglés

N° páginas

130

Encuadernación

Tapa Blanda

ISBN13

9783638700955

Mechanical Resonator for Hermeticity Evaluation of rf Mems Wafer-Level Packages (en Inglés)

Dr Sebastian Fischer (Autor) · Grin Verlag · Tapa Blanda

Libro Nuevo Importado

Envío: 23 a 28 días háb.

$ 4.129$ 2.064

-50%

Costos de importación incluídos en el precio ✅

Libro Nuevo

Quedan 10 unidades

$ 2.064

Llega entre el 27 Oct y el 03 Nov a Montevideo, Montevideo. Seleccionar ubicación

Agregar a lista de deseos

Reseña del libro "Mechanical Resonator for Hermeticity Evaluation of rf Mems Wafer-Level Packages (en Inglés)"

Master's Thesis from the year 2002 in the subject Electrotechnology, grade: 1.0 (A), University of Applied Sciences Berlin (FB1), language: English, abstract: Common test standards for evaluating the hermeticity of microsystem packages are unsuitable for small MEMS-devices. It is the task of this Master thesis to create a universal test device to measure and to compare the hermeticities of different wafer-level packaging concepts, especially for RF MEMS devices. Resonator structures were found to be most suitable to measure low pressures and low pressure changes over time, due to the high sensitivity of their Q-value to the pressure in the cavity. The resonators are electrostatically actuated by using a novel coupling concept of the excitation voltage. The detection of the resonator movement is done by laser-interferometry. Sensors fulfilling the specific demands were designed, simulated and fabricated in the cleanroom. The fabrication process is based on SOI (Silicon On Insulator) wafers. Finally, the sensors were evaluated and characterized. A suitable resonator with a length of 500 m reaches a Q-factor of 8070, at an ambient pressure of 0,02 mbar, and a resonance frequency of 36329 Hz. The sensitivity of the Q-value to pressure change is 4000 %/mbar at 0,02 mbar. This work was carried out within the Summit RF MEMS project, a collaborative project involving Ericsson, the Royal Institute of Technology-S3, Acreo and Saab Ericsson Space.

Opiniones del libro

¿Leíste este libro? Inicia sesión para poder agregar tu propia evaluación.

Ver más opiniones de clientes

0% (0)
0% (0)
0% (0)
0% (0)
0% (0)

Preguntas y respuestas sobre el libro

¿Tienes una pregunta sobre el libro? Inicia sesión para poder agregar tu propia pregunta.

Opiniones sobre Buscalibre

Ver más opiniones de clientes

Mechanical Resonator for Hermeticity Evaluation of rf Mems Wafer-Level Packages (en Inglés) - Dr Sebastian Fischer

Reseña del libro "Mechanical Resonator for Hermeticity Evaluation of rf Mems Wafer-Level Packages (en Inglés)"

Opiniones del libro

Preguntas frecuentes sobre el libro

¿El libro es original?

¿En qué Idioma está escrito el libro?

¿Cuál es la encuadernación de este libro?

Preguntas y respuestas sobre el libro

Opiniones sobre Buscalibre