Name: Plasma Electronics. Applications in Microelectronic Device Fabrication
SKU: 65591033
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Availability: InStock
Author: Toshiaki Makabe;Zoran Lj. Petrovic
ISBN: 9781041192237

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portada Plasma Electronics. Applications in Microelectronic Device Fabrication

Plasma Electronics. Applications in Microelectronic Device Fabrication

Formato

Libro Físico

Editorial

CRC Press

Autor

Toshiaki Makabe;Zoran Lj. Petrovic

Año

2026

N° páginas

444

Encuadernación

Tapa Dura

Dimensiones

23.4x15.6 cm

ISBN13

9781041192237

Plasma Electronics. Applications in Microelectronic Device Fabrication

Toshiaki Makabe;Zoran Lj. Petrovic (Autor) · CRC Press · Tapa Dura

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Reseña del libro "Plasma Electronics. Applications in Microelectronic Device Fabrication"

Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication, Third Edition, explains the fundamental physics and numerical methods essential for advancing these technologies from laboratory research to manufacturing-scale modeling and design of plasma sources and processes.